玻璃基板卡匣(俗称液晶架; LCD Cassette)主要用于 TFT LCD各项工艺制作中承载、传送和保护玻璃基板的设备。PEEK支线在玻璃基板卡匣内,其所拥有耐磨耗性及高表面硬度,可大幅减少颗粒产生量;超高纯度与低释气性,可避免污染,从而高工艺制作良率;耐高温性,在各段工艺制作之间无需降温,从而提升了工艺效率;耐化学性,可承受大部分的化学物质用于工艺制作设备的关键性零件可以延长设备的使用寿命并减少设备的维修需求。
PEEK、PI具有耐高温、耐腐蚀、耐磨损、高纯度等特性优点,完全满足电子半导体行业苛刻的生产环境,保证其长期使用,提高设备使用的稳定性和可靠性。
玻璃基板卡匣(俗称液晶架; LCD Cassette)主要用于 TFT LCD各项工艺制作中承载、传送和保护玻璃基板的设备。PEEK支线在玻璃基板卡匣内,其所拥有耐磨耗性及高表面硬度,可大幅减少颗粒产生量;超高纯度与低释气性,可避免污染,从而高工艺制作良率;耐高温性,在各段工艺制作之间无需降温,从而提升了工艺效率;耐化学性,可承受大部分的化学物质用于工艺制作设备的关键性零件可以延长设备的使用寿命并减少设备的维修需求。